로터리 베인 진공펌프

Becker의 견고하게 구성된 회전식 베인 펌프는 포지티브 변위 작동 원리를 활용합니다. 슬롯이 있는 편심 장착 로터는 완전히 밀폐된 팬 냉각 모터에 의해 구동되는 원통형 하우징에서 회전합니다. 정밀하게 슬라이딩되는 베인은 슬롯에서 움직이며 원심력에 의해 실린더 벽으로 구동됩니다. 개별 작업실은 베인 사이의 분리에 의해 생성된다.

건식 로터리 베인 및 오일식 로터리 베인 진공 펌프는 모두 진공 애플리케이션의 높은 압력 차이에 적합합니다. 펌프 기술을 선택할 때 고려해야 할 많은 요인들이 있지만, 첫 번째 문제는 항상 공정에 필요한 진공 수준입니다. 원하는 진공 수준에서의 시간, 잠재적 오염 물질, 주변 조건은 기술을 선택할 때 고려해야 하는 여러 가지 요인 중 일부에 불과합니다.

Becker_Icon_Operating-Principle_Rotary-Vane

로터리 베인 진공펌프

건식 로터리 베인 진공펌프

건식 로터리 베인 진공 펌프는 진공 애플리케이션의 높은 압력 차이에 적합합니다. 자체 윤활, 탄소-흑연 복합 베인이 실린더 벽에 직접 접촉합니다. 이를 통해 달성할 수 있는 진공 레벨이 100mbar 절대값으로 제한됩니다.

건식 로터리 베인 진공펌프
오일식 로터리 베인 진공펌프

오일식 로터리 베인 진공 펌프는 미세한 진공을 발생시켜 고진공 용도에 적합합니다. 섬유 유리 베인과 작업 챔버의 실린더 벽에 있는 얇은 오일 막이 챔버를 누출로부터 보호합니다. 이 씰은 절대압 1mbar의 깊이까지 진공 레벨을 달성할 수 있는 능력을 제공합니다.

오일식 로터리 베인 진공펌프