ロータリーベーン式真空ポンプ

ロータリーベーン式ポンプは、頑丈な構造で、容積移動の動作原理を採用しています。円筒形のハウジングの中で、偏心して取り付けられたスロットの付いたローターが、全閉のファン冷却モーターによって回転します。精密なスライドをするベーンは、遠心力によってシリンダー壁面に押し付けられながら、スロットの中を移動します。ベーン間の分離により、個々のチャンバーが形成されます。

当社のロータリーベーン式のドライポンプとオイルポンプは、いずれも真空用途の中でもより高い圧力差に適しています。ポンプを選定する際に考慮すべき点はいくつかありますが、最初の確認事項は必要な真空度、流量です。続いて、真空度の時間、汚染物質、使用環境などがあります。

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ロータリーベーン式真空ポンプ

ロータリーベーン式真空ポンプ-オイルフリー

ロータリーベーン式真空ポンプ-オイルフリーは、真空用途でより高い圧力差を必要とする場合に適しています。潤滑性のあるカーボンベーンは、シリンダー壁に直接接触します。このため、達成可能な真空レベルは100mbar absoluteです。

ロータリーベーン式真空ポンプ-オイルフリー
ロータリーベーン式真空ポンプ-オイル潤滑

ロータリーベーン式のオイルポンプは、微細な真空を発生させるため、高い真空用途に適しています。カーボンベーンとシリンダー壁面の薄い油膜により、チャンバーからの漏れを防ぎます。密閉することで、1mbar absoluteに達します。

ロータリーベーン式真空ポンプ-オイル潤滑